• <sub id="5bjjd"></sub>

      <video id="5bjjd"></video>

    <form id="5bjjd"></form>

    <track id="5bjjd"></track>

      <menuitem id="5bjjd"></menuitem>

        <video id="5bjjd"></video><span id="5bjjd"></span>

        <em id="5bjjd"><menuitem id="5bjjd"><pre id="5bjjd"></pre></menuitem></em>
        電話:0512-65821886 地址:蘇州市工業園區新平街388號騰飛創新園A1棟
        公司新聞

        LIGA是什么樣的MEMS加工技術

        2022-03-15
        據博研小編了解,LIGA加工是德語光刻、電鍍(也稱電鑄)和壓模(Abformung)的簡稱。LIGA技術可以加工金屬、塑料等非硅材料,也可以加工深寬比大的零件,這是體微加工和表面微加工難以實現的。但MEMS加工工藝應以同步加速器輻射裝置產生的高能輻射為主要加工方法,設備昂貴,投資大。
         LIGA是什么樣的MEMS加工技術
        以LIGA工藝加工為例。首先,在金屬底板上放置一層PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯、有機玻璃),然后放置模板,用同步加速器裝置產生的高能射線蝕刻PMMA,最后形成所需的空腔,然后用電填充空腔,然后去除PMMA,得到所需的金屬齒輪。
         
        MEMS設備和系統的包裝和測試也是MEMS加工技術發展的一個重要方面,由于該技術復雜,其成本有時在整個MEMS設備或系統中占很大比例。此外,基于MEMS設備的不同結構和功能,MEMS設備的包裝具有多樣性和復雜性,包裝方法和質量對設備工作的可靠性有重大影響。
         
        例如,MEMS設備或系統中具有運動功能的部件必須可靠地工作,從外部獲取信息的傳感結構(如壓力計、硅麥克風)需要長期穩定地工作,這與傳統的IC包裝有很大的不同。因此,新包裝技術的不斷發展,如晶圓全硅包裝技術,一次完成數千個設備的包裝,可以大大降低體積,降低成本,提高設備或系統的可靠性。
         
        由于MEMS設備結構和功能的多樣性也決定了其測試的多樣性。MEMS設備通常包括用于傳感和執行的活動部件,需要測量動態參數,如微鏡的穩定時間動態特性、傳感器的位移范圍和懸臂梁的諧振頻率。在這種情況下,除了測量一般的電參數外,還需要精確、實時和高分辨率的無創檢測技術。
         
        MEMS設備動態特性的光學測量是一種有效的測試手段。先進的光學測量技術了解MEMS設備在開發過程中的全視覺動態響應,完成各種參數(尺寸、薄膜厚度、臺階高度、橫截面、粗糙度、壓力、靜摩擦、彈性模量、響應時間、熱膨脹、諧振頻率等)的測量。

        上一篇:MEMS器件設計工藝如何進一步優化          下一篇:MEMS器件該怎么設計
        亚洲成AV人影院在线观看_国产第7页屁屁影院_国产av高清无亚洲_av在线播放无码线