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        公司新聞

        光刻板的技術含量高不高

        2022-03-23
        博研給大家強調一下,光刻板是整個芯片的機密所在,沒有光刻板,光刻機是無法準確加工芯片的。拿走光刻板,就可以復制任何公司的芯片,就像拿走印錢的電板可以制造逼真的假錢一樣。
         光刻板的技術含量高不高
        光刻板就相當于照相的底片,光刻機的作用就是要把底片上的圖案印到光刻膠上。這個底片也就是光刻板,它的制造跟芯片光刻流程相似,但比光刻工藝更難,而不是更簡單。
         
        光刻板是由芯片代工廠設計出來的,首先需要拿到客戶設計好的芯片圖紙,這個圖紙是電子版的,用EDA軟件繪制。
         
        芯片代工企業需要用EDA軟件把這個文件打開,進行分析。這就是為什么大家都說除了光刻機被卡脖子以外,EDA軟件也會限制代工企業為華為服務的原因。圖紙是不能直接用來刻芯片的,必須進行識別,分層和再設計。
         
        芯片有很多不同的部件,不同部件的加工工藝是不一樣的,不可能一次完成,必須分批分步完成。這就要求把一個設計圖紙先拆分成若干層,每一層制作一個光刻板。就好像彩色印刷需要把一張彩圖做成四種顏色的印刷版,分四次印刷才能完成一樣。
         
        光刻板圖案并不是設計圖紙的簡單再現,而是要根據實際工作經驗對圖案進行合理修飾才行。不做修飾的光刻板經過光刻機的顯影以后,得到的芯片圖案會失真非常嚴重。
         
        打個簡單的比方,要想打印一個老虎的圖案,必須得用貓的相片作為參照,如果用老虎自己的相片做參照,打印出來的可能就是怪獸了。所以,制作光刻板,不能跟圖紙設計的圖案完全一樣。
         
        必須根據光學衍射的理論,和光刻機實際失真程度的經驗進行反向設計,把光刻板圖案做一定的修飾,以便最終光刻出來的圖案足夠接近理想效果。這個環節對設計經驗的要求非常高,得反復試驗才能達到最理想的效果。
         
        除了修飾以外,掩膜板的空白區還要加上特殊圖案以便對光刻機的光刻效果進行考察。在光刻機工作的過程中,機器有沒有走神兒,會不會出現偏差,要有一定的監督機制。一旦出現問題,要能即使糾正和修訂??瞻讌^的圖案就是起到監督的作用的。
         
        設計好的圖案得轉化成光刻設備能識別的格式,傳輸給光刻設備。為了提高精度,光刻板的光刻一般不用普通光刻機,而是用精度更高的電子束光刻設備。電子束光刻設備的精度比光刻機要高,但工作效率低,暫時不適合用到芯片生產環節。
         

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