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        電話:0512-65821886 地址:蘇州市工業園區新平街388號騰飛創新園A1棟
        MEMS加工

        MEMS加工

         MEMS加工工藝是下至納米尺度,上至毫米尺度微結構加工工藝的通稱。廣義上的MEMS制造工藝,方式十分豐富,幾乎涉及了各種現代加工技術。起源于半導體和微電子工藝,以光刻、外延、薄膜淀積、氧化、擴散、注入、濺射、蒸鍍、刻蝕、劃片和封裝等為基本工藝步驟來制造復雜三維形體的微加工技術。

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