MEMS器件設計 - 場效應晶體管

場效應晶體管主要有兩種類型：結型場效應管和金屬 - 氧化物半導體場效應管，它屬于電壓控制型半導體器件。具有輸入電阻高、噪聲小、功耗低、動態范圍大、易于集成、沒有二次擊穿現象、安全工作區域寬等優點。